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1.压缩空气泵要定期排水，每月排水1次；遇梅雨季节至少一星期排水1次，如果长期不排水会导致压缩空气泵损坏。
2.定期查看机械泵油标（约3-6个月时间检查一次），泵油是否不够或油质变黄变黑，及时加注或更换泵油以免造成泵性能下降或损坏。分子泵的油标也要定期检查油变少变黑要及时更换（约1年时间检查一次）。
3.定期清理腔室内的残留物（根据设备使用频率至少1-3个月要清理一次），保证腔室内干净，无材料残留物，无粉尘，无水，无油污；可在腔室内屏蔽板上贴上铝箔纸便于清理。
4.设备冷却水管在使用2年后，要检查塑料水管的老化程度，一般不宜超过5年，达到5年需要更换所有塑料水管；设备长期不使用时排空塑料水管里的水，避免低温冻裂水管。
5.循环冷却水温度不宜调节过低，和室温不能相差0℃以上，保证水管外壁无冷凝水（冷凝水滴下来会损伤膜厚仪探头及其他电源），一般设置20-25℃，定期检查冷却水，少了要添加，水质变黑，变黑要全部更换，建议使用去里子水
6.水冷基片台的油封根据使用频率的不同，2-3年左右会有老化情况，有旋转卡顿或漏水风险，建议定期检查更换。
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