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1.压缩空气泵要定期排水,每月排水1次;遇梅雨季节至少一星期排水1次,如果长期不排水会导致压缩空气泵损坏。
2.定期查看机械泵油标(约3-6个月时间检查一次),泵油是否不够或油质变黄变黑,及时加注或更换泵油以免造成泵性能下降或损坏。分子泵的油标也要定期检查油变少变黑要及时更换(约1年时间检查一次)。
3.定期清理腔室内的残留物(根据设备使用频率至少1-3个月要清理一次),保证腔室内干净,无材料残留物,无粉尘,无水,无油污;可在腔室内屏蔽板上贴上铝箔纸便于清理。
4.设备冷却水管在使用2年后,要检查塑料水管的老化程度,一般不宜超过5年,达到5年需要更换所有塑料水管;设备长期不使用时排空塑料水管里的水,避免低温冻裂水管。
5.循环冷却水温度不宜调节过低,和室温不能相差0℃以上,保证水管外壁无冷凝水(冷凝水滴下来会损伤膜厚仪探头及其他电源),一般设置20-25℃,定期检查冷却水,少了要添加,水质变黑,变黑要全部更换,建议使用去里子水
6.水冷基片台的油封根据使用频率的不同,2-3年左右会有老化情况,有旋转卡顿或漏水风险,建议定期检查更换。