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注意事项

1.如遇紧急停电,水流,水压报警等故障,分子泵还在运转,此时设备恢复后腔室不可操作放气操作,需静止1小时以上,才可执行放气操作否则可能会损坏分子泵。

2.设备运行时应注意蜂鸣器有无报警及报警信息区应无报警信息,如报警发生时应停止设备运行,排除故障后才使用设备。

3.设备运行环境:温度小于35℃,湿度小于百分之80,空气无粉尘,设备在洁净环境中使用。

4.分子泵属于精密部件长时间工作时,一定要保证冷却降温,分子泵不能直接抽大气,应避免违规操作造成分子泵在高速运转时暴露大气损坏;分子泵、机械泵的使用和维护应严格按照相应说明书上的规定进行。

5.真空腔室暴露大气应尽可能的短,设备不使用时应抽上真空保压,保证腔室环境不被污染,以免影响后续实验结果。

6.加热样品可随腔室内冷却,真空腔室内温度<60℃以下时再暴露大气为宜,温度太高操作可能会发生烫伤!

7.真空腔室内要保持清洁,定期清除腔室的残留物,保证腔室内无油污,无水,无粉尘,可贴铝(锡)纸定期更换。

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