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1.如遇紧急停电，水流，水压报警等故障，分子泵还在运转，此时设备恢复后腔室不可操作放气操作，需静止1小时以上，才可执行放气操作否则可能会损坏分子泵。
2.设备运行时应注意蜂鸣器有无报警及报警信息区应无报警信息，如报警发生时应停止设备运行，排除故障后才使用设备。
3.设备运行环境：温度小于35℃，湿度小于百分之80，空气无粉尘，设备在洁净环境中使用。
4.分子泵属于精密部件长时间工作时，一定要保证冷却降温，分子泵不能直接抽大气，应避免违规操作造成分子泵在高速运转时暴露大气损坏；分子泵、机械泵的使用和维护应严格按照相应说明书上的规定进行。
5.真空腔室暴露大气应尽可能的短，设备不使用时应抽上真空保压，保证腔室环境不被污染，以免影响后续实验结果。
6.加热样品可随腔室内冷却，真空腔室内温度＜60℃以下时再暴露大气为宜，温度太高操作可能会发生烫伤！
7.真空腔室内要保持清洁，定期清除腔室的残留物，保证腔室内无油污，无水，无粉尘，可贴铝（锡）纸定期更换。
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