【普迪真空交付案例】华南师范大学—高温磁控溅射镀膜设备 PD-300C

发布时间：2026-04-29 11:20:07 人气：76943

2026年4月25日，武汉普迪真空科技有限公司正式向华南师范大学交付科研设备 ——高温磁控溅射镀膜设备 PD-300C 。此次设备交付，将为华南师范大学相关科研项目的开展注入新的活力。

交付设备简介

优点

✔整个工件范围内均匀性优于+/-5%

✔极限真空优于 5×10-5Pa

✔ 系统漏率≤2x10-8Pa.l/S

✔托盘 4 英寸范围内成膜均匀性优于±5%

应用领域

适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、扫描电镜制样电极材料制备等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足高等院校的教学与科研工作。

交付现场直击

四月的华南师范大学，紫荆花开满枝头，校园内春意盎然。作为国家“双一流”建设高校，这里不仅书卷飘香，更以开放包容的学风，滋养着一代代学子的求知梦想。

普迪真空工程师提前与实验室负责人确认冷却水循环、供电容量等条件，确保安装一次通过。设备就位后，依次完成主机与泵组连接、真空检漏、极限真空测试，实测结果均优于出厂指标。

设备成功完成安装调试以后，开展了专项培训。内容涵盖设备操作规范、温度程序设置及安全互锁逻辑等关键知识点，确保研究人员能够独立、安全地使用该设备。