【普迪真空交付案例】3月7日南开大学

2025年3月7日，普迪售后工程师们踏上了前往天津南开大学的征程。他们要为这所知名高校安装调试两台先进的设备—等离子体原子层沉积系统PDALD-PE200B和电子束蒸发系统PD-500。

出发时，两台设备被木箱牢牢保护着，它们犹如即将奔赴战场的勇士，承载着科研的希望。

 经过数小时的车程，工程师们终于抵达了南开大学。校园里充满了浓厚的学术氛围，仿佛在诉说着知识的魅力。工程师们小心翼翼地将设备从运输车上卸下，搬运到指定的实验室。每一步都走得稳稳当当，就像呵护着珍贵的宝贝。

等离子体原子层沉积系统PDALD - PE200B

系统组成：铝型材机架、8inch 真空反应腔体、真空抽气和压力监测系统、自动控制系统、前驱体源输运系统、1 套ICP 远程等离子体源。

电子束蒸发系统PD - 500

该设备集成了电子束及电阻蒸发是一台多功能的真空镀设备，系统配备一套6 坩埚电子枪和离子源系统可镀镀制各种介质膜、光学膜、透明导电膜、铁电薄膜等如：各种金属钛、 铂、金等、常见氧化物、Si, Al2O3, TiO2, SiO2,氧化铪等，以及半导体激光器常见膜系，如高反膜，减反膜等。

 等离子体原子层沉积系统PDALD-PE200B和电子束蒸发系统PD-500都是高科技设备，结构复杂，安装要求极高。工程师们凭借着丰富的经验和精湛的技术，按照操作手册的要求，一步一步地进行安装，最后成功交付。