设备特点:
★性能卓越的蒸发电源;保证工艺稳定性及高重复性
★专业真空蒸发电源,恒流/恒功率控制。电流、功率可以预先设置,可实现一键启动和停止的自动控制功能
★系统采用PLC+触摸屏操作,整体美观操作简单,自动化程度高
★衬底可选择加热或水冷,源基距最大350mm
设备参数:
★腔体尺寸(L×W×Hmm):350×350×450
设备尺寸(L×W×Hmm):850×1100×1900
★真空极限:优于(5E﹣05)Pa
抽速保压:(8E﹣04)≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)
★基片台:120mm×120mm
★蒸发源:可搭配4~6组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸或切换蒸发