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设备特点：
★机械泵前加装过滤网，抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件，气路设计避免扬尘
★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警
★自动控制蒸发源输出，可选配共蒸发制备工艺
设备参数：
★腔体尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600/800×700×700
设备尺寸（L×W×Hmm)：1200×950×2000/1850×870×2100
★真空极限：优于（3E﹣05）Pa
抽速保压：（8E﹣04）≤20min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）
★基片台：210mm×210mm/350mm×350mm
★蒸发源：可搭配4～8组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发，可与电子束进行对接
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