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设备特点：
★进口双导轨前滑动开门节省手套箱空间
★节约实验室场地不占用手套箱以外空间
★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警
★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀，也可搭配电阻蒸发源使用
★行星式工件架，公转+自转/穹顶式/自动翻面/平板式工件架可选，转速可调
设备参数：
★腔体尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600mm/600×650×800mm
★真空极限：优于（3E﹣05）Pa
抽速保压：（8E﹣04）≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）
★基片台：≤150mm×150mm/200mm×200mm
★蒸发源：8-10KW电子枪4-8坩埚可选；可同时兼容2-4组电阻蒸发或有机束源炉
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