设备特点:
★进口双导轨前滑动开门节省手套箱空间
★节约实验室场地不占用手套箱以外空间
★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选,完善的逻辑程序互锁保护及异常报警
★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀,也可搭配电阻蒸发源使用
★行星式工件架,公转+自转/穹顶式/自动翻面/平板式工件架可选,转速可调
设备参数:
★腔体尺寸(L×W×Hmm):500×500×600mm/600×650×800mm
★真空极限:优于(3E﹣05)Pa
抽速保压:(8E﹣04)≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)
★基片台:≤150mm×150mm/200mm×200mm
★蒸发源:8-10KW电子枪4-8坩埚可选;可同时兼容2-4组电阻蒸发或有机束源炉