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设备特点：
★微波系统微波频率2450±25MHz 微波泄漏≤2 mw/cm²
★真空系统工作气压范围0~250Torr,自动稳压范围40~250Torr
★气路系统自带四路MFC,可扩展至六路
★自带缺水，缺气，电源缺相，等离子体偏移，过温过载，打火等自动保护，生产流程通过工艺配方自动控制，全自动温度控制，气压控制等
★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏，所有操作均可在触摸屏上完成
设备参数：
★输出功率：0.6kw~6kw /0.6kw~15kw 连续可调
★生长台：沉积台为80mm，高度为110mm/沉积台为100mm，高度为110mm
★基片台：电动升降式水冷直径80mm钼基片台直径≥50mm/电动升降式水冷直径100mm钼基片台直径≥75mm
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