设备特点:
★微波系统微波频率2450±25MHz 微波泄漏≤2 mw/cm²
★真空系统工作气压范围0~250Torr,自动稳压范围40~250Torr
★气路系统自带四路MFC,可扩展至六路
★自带缺水,缺气,电源缺相,等离子体偏移,过温过载,打火等自动保护,生产流程通过工艺配方自动控制,全自动温度控制,气压控制等
★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏,所有操作均可在触摸屏上完成
设备参数:
★输出功率:0.6kw~6kw /0.6kw~15kw 连续可调
★生长台:沉积台为80mm,高度为110mm/沉积台为100mm,高度为110mm
★基片台:电动升降式水冷直径80mm钼基片台直径≥50mm/电动升降式水冷直径100mm钼基片台直径≥75mm