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★罐体尺寸：304不锈钢真空方形腔体，腔容积约L300×W300×H250mm
★设备外形尺寸：L520×W700×H850mm
★清洗区域尺寸：120*120*150mm
★极限真空度：1*10-1Pa
★射频电源：功率0～150W可调可控 射频频率：13.56兆赫兹
★极限真空：（6E﹣02），工作电压220伏
★PLC+触摸屏手自动控制系统。一体式机柜，喷塑处理
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