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产品中心
等离子渗金属
产品摘要
等离子体渗金属技术是不等点位对阴极双辉光放电模式,其原理是将电源在源极和共用阳极(真空腔体)之间激励的辉光放电,以离子溅射的方式将源极材料从其表面溅射出来并沉积在紧邻的阴极表面上。同时另外一套电源加载在阴极和共用阳极上并产生辉光放电,使其阴极表面温度达到1100度以上,这将直接导致沉积于阴极表面的材料成分通过扩散渗透到阴极工件表层。
产品介绍

设备参数:

★腔体尺寸:双层水冷腔体直径600mm×高650mm

★真空极限:≤5x10-4Pa 

★抽速保压:8×10-3Pa≤25min


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