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★系统组成：电动取样杆+进样腔+工艺腔
★基片尺寸：300mm x 300mm
★蒸镀方式：样品台旋转式
★进样腔：可放4片样品
★工艺腔 配置4个40cc 点源，满足BCP，C60，LiF，金属蒸镀
★膜厚均匀性：
真空：9×10-5 Pa小于24小时之内
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15308651978
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