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设备参数：
★罐体尺寸：304不锈钢真空方形腔体，内腔容积约150*150*200mm；设备外形尺寸：宽525mm深400mm高400mm
★极限真空度：1Pa
★射频电源，功率0～150 W手动可调可控
★工作环境：0～45℃，湿度<85% AC电源220V±15%，50/60HZ 充气系统包括1路气体质量流量计，以控制清洗气体的进气流量，方便气体导入
★真空系统 型号：VDS-6;抽气速度≥1.5升/秒,极限真空1pa，工作电压220伏
★PLC+触摸屏手自动控制系统。一体式机柜，喷塑处理
★清洗区域尺寸：120*120*150mm
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