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设备特点：
★性能卓越的蒸发电源；保证工艺稳定性及高重复性
★专业真空蒸发电源，恒流/恒功率控制。电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能
★系统采用PLC+触摸屏操作，整体美观操作简单，自动化程度高
★衬底可选择加热或水冷，源基距最大350mm
设备参数：
★腔体尺寸（L×W×Hmm)：350×350×450
设备尺寸（L×W×Hmm)：850×1100×1900
★真空极限：优于（5E﹣05）Pa
抽速保压：（8E﹣04）≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）
★基片台：120mm×120mm
★蒸发源：可搭配4～6组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发
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