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主要特点:
★溅射镀膜室配有带挡板的观察窗，可以很方便的观察设备内部的工作状态。
★基片架可以在溅射室实现往复运动；往复位置和运动速度可以设定。
★自动传递方式，调频电机控制，同步运行。室内均有定位功能，可实现原点复位。
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