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★整机外形尺寸：L1000×W750×H1600(mm)
★反应腔尺寸：520×520×H600(mm)，约150L
★清洁尺寸：500×500mm
★射频电源：13.56MHz，600W
★气体流量控制：1-2路质量流量控制器（0~500SCCM）
★工作气体：氧、氩气，另提供一路氮气用于冷却样品（高纯，用户自备）
★压缩空气：接口压力大于0.5MPa（用户自备）
★真空抽气及测量系统：配备一台8L机械泵，抽气管道采用不锈钢真空波纹管，
★控制方式：采用10寸触摸屏+PLC组成的人机界面控制方式，操作方式包括手动模式或自动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同配方。使用时只需将相应配方号调出即可。
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