设备特点:
★广泛应用于蒸发金、银等贵金属材料的电极制备,适合半导体剥离工艺,节省蒸镀材料
★系统配置上配备了脂润滑无油分子泵可任意角度安装,缩短抽气管道提高了抽速,节约样品制备时间
★可升级不停泵放气功能,可实现全自动控制功能
设备参数:
★腔体尺寸(L×W×Hmm):300×300×400
设备尺寸(L×W×Hmm):500×750×1800
★真空极限:优于(5E﹣05)Pa
抽速保压:(8E﹣04)≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)
★基片台:100mm×100mm
★蒸发源:可搭配2~4组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸或切换蒸发