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PD-150Q射频等离子清洗机
产品摘要
PD-150Q射频等离子清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。适用于实验室科研、小批量生产,小部件纳米清洗、表面活化、表面改性或PCB 制造、半导体 LED制造、TSP OLED 设备、真空等离子喷涂系统等工业应用领域。
产品介绍

设备参数:

罐体尺寸:304不锈钢真空方形腔体,内腔容积约150*150*200mm;设备外形尺寸:宽525mm深400mm高400mm

极限真空度:1Pa

射频电源,功率0~150 W手动可调可控

工作环境:0~45℃,湿度<85% AC电源220V±15%,50/60HZ 充气系统包括1路气体质量流量计,以控制清洗气体的进气流量,方便气体导入

真空系统 型号:VDS-6;抽气速度≥1.5升/秒,极限真空1pa,工作电压220伏

PLC+触摸屏手自动控制系统。一体式机柜,喷塑处理

清洗区域尺寸:120*120*150mm


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