设备特点:
★升降结构平稳,样品台水平度好,利于生长较均匀厚膜丝架采用特殊结构,热丝的平行度好能长期稳定工作
★更合理的气路布局及更贴合生产工艺的细节考虑,可长期稳定工作
★软件配置西门子PLC+10寸西门子触摸显示屏,操作界面友好,所有操作均可在触摸屏上完成
★实现φ100-300mm基片范围内均匀沉积
设备参数:
★腔体尺寸:φ450×H350mm/φ650×H500mm
★基片台:150mmx150mm/200mmx200mm
★温度:热丝温度1800℃-2500℃衬底温度600℃-1000℃,电源型式专用热丝电源15/25kw