设备特点:
★全不锈钢真空腔室,保证系统的耐久性及操作安全性;更合理的气路设计及细节考虑
★更的小体积,系统采用模块化设计可扩展性高在保证系统稳定性的前提下,进一步优化您的实验室利用空间。
★系统采用机械泵+进口分子泵组成高真空系统,抽到工作高真空仅需15-20min,节省实验时间。
设备参数:
★腔体尺寸(L×W×Hmm):Φ260×H350(圆柱型)
设备尺寸(L×W×Hmm):500×360×750(500×360×420)
★真空极限:优于(5E﹣05)Pa
抽速保压:(8E﹣04)Pa≤30min保压12小时≤5pa
★膜厚均匀性优异(±3%~±5%),重复性优异(±3%~±5%)
★基片台:80mm×80mm
★蒸发源:可搭配1~2组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸或切换蒸发