扫一扫
关注公众号
设备特点：
★真空测量采用数字式全量程真空规管。控制系统采用触摸屏设置参数，一键式操作。
★内部样品托盘采用可拆卸式，配备吸气环方便玻璃基片放置；在放置柔性基片和硅片时可采用吸气板式托盘。
★腔体顶部设置DN100视窗，便于观察样品处理过程。
设备参数：
★样品尺寸：210mm×210mm/300mm×300mm
600mm×600mm/600×1200mm 最大厚度30mm
★极限真空：0.1Pa
★抽空时间：10秒至5Pa
QQ客服